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真空高压气氛烧结炉真空系统、充放气系统及冷却水系统

真空高压气氛烧结炉真空系统、充放气系统及冷却水系统

真空系统为扩散泵、罗茨泵、旋片泵组成三级真空机组。由泵、气动高压球阀、电磁带充气阀、波纹管、管路等整体组成机组。各阀门的开启及系统的操作均可实现自动化。

为了提高自动化程度,真空管路上常操作的阀门均采用气动真空阀;

所有真空管道内表面均进行酸洗镀锌处理,减少材料放气率,提高系统真空性能;

本高压气氛烧结炉配置有氮气\氩气充入装置;

可实现两种气压烧结,一种定压烧结,当炉内达到稳定状态时,由压力传感器控制进气阀与放气阀,当达到设定压力下限时,关闭进气阀,当达到设定压力上限时,打开放气阀;另一种动态平衡,即进气阀始终处于打开状态,定量冲入气体,排气阀由压力传感器控制开关,保证炉内压力恒定;同时配置有安全防爆阀,当过压时,可自动泄压,确保系统运行安全。

进气口留有质量流量计接口,用户可根据工艺条件自行配备及安装。

三、真空气氛炉冷却水系统

根据真空炉各部分对冷却水的要求,制作积水排、由阀门、管路等组成;对炉体、炉盖、密封圈、真空泵及水冷电极进行冷却;其中总进水管路安装水压传感器;

冷却水汇流水箱所有冷却水阀门均采用艾美柯品牌,汇流水箱上有一套备用进出水管(带有进水阀门)。

四、真空高压气氛烧结炉测控系统

测控系统采用了高性能的控制测量仪表,如温度控制采用了日本生产的高性能的0.3级可编程PID调节器,即FP93温控仪表,它功能完善,性能优良,可带4组曲线最大40段可编程功能;同时采用复合真空计、气压仪表分别对真空度、气压进行监测;通过触摸屏、PLC来集中对这些仪表进行控制,最终实现对温度、真空度、气压等参数的监控及加热、真空泵等机械电气设备动作的控制。这些仪表及其他控制元器件,集中安装于电控柜中。